VIGOUR>>Ваш надійний партнер із передових систем доставки газу
У високо-технологічних галузях, де точність, чистота та безпека-не підлягають обговоренню, надійне постачання газу є основою. VIGOR розробляє та виробляє комплексні системи доставки газу, які відповідають цим критичним вимогам, підтримуючи інновації та продуктивність у глобальних дослідницьких і виробничих секторах.
Спеціальна газова стійка
Серія VGR
- Безперервне та безперебійне безпечне постачання електронних-газів.
- Додаткові функції вентиляції та продувки з безпечним скиданням тиску.
- Зварний вузол для чистих приміщень класу 100.
- Додаткове керування ПЛК із комунікаційним інтерфейсом, до якого можна отримати доступ за допомогою системи інтелектуальної платформи моніторингу.
- Сигналізація високого / низького тиску зі звуковими та світловими сигналами, здатна до аварійного відключення.
- Сенсорний дисплей для відображення тиску в балоні та інших даних.
- Тип: спеціальна стійка для контролю газу
- Матеріал: нержавіюча сталь 316L для клапанів і компонентів трубопроводів
- Застосовувані гази: інертні гази (Ne, Kr, Ar, He тощо)
- Спосіб подачі газу: газовий балон
- Джерело живлення: 110~240VAC
- Конфігурації: один-циліндр, подвійний-циліндр
Спеціальна газова шафа
Серія VGC
- Тип: спеціальна газова шафа
- Матеріал: нержавіюча сталь 316L для клапанів і компонентів трубопроводів
- Відповідні гази: легкозаймисті/самозаймисті гази, корозійні гази, токсичні гази (наприклад, SiH4, HCL)
- Джерело живлення: 110~240 В змінного струму
- Корпус: корозійно{0}}стійка зварна сталь
- Скляне вікно: авто-закривання
- Вихлопна труба:-змонтована зверху вихлопна труба
- Застосування продукту: університети/дослідницькі лабораторії; Промислове виробництво; Фотоелектрична сонячна енергія; Фармацевтика та біотехнології; Виробництво напівпровідникових інтегральних схем
- Стандарти дизайну: Відповідає стандартам SEMI S2; Відповідає міжнародним нормам будівельної пожежної безпеки; Максимальний робочий тиск: 110% випробувального тиску
Газові ручки в зборі
Серія ВУП
- Газовий стрижень надвисокої чистоти для всіх систем подачі газу
100TG: Менше або дорівнює 30 slpm доставка 1/4"VFS
200TG: Менше або дорівнює 300 slpm подача 3/8"VFS
300TG: Менше або дорівнює 600 slpm подача 1/2"VFS
- Продукт виготовлено відповідно до специфікації процесу VS001A
- Висока точність контролю
- Всі з'єднання зварні або VFS
- Ручний або пневматичний мембранний клапан
- 100% гелій-перевірено на-витік
- Вхідний тиск P1: 300 psig (20 бар)
- Вихідний тиск P2: Vac до 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10 бар)
- Матеріали мембранного клапана: корпус 316L; Сідло клапана PCTFE; Діафрагма Elgiloy®
- Матеріали регулятора: корпус 316L/316L вторинний переплав; Сідло клапана PCTFE; Діафрагма Hastelloy®
- Швидкість витоку: (в атмосферу) 1x10^-9 мбар I/с He;
(через сидіння) 1x10^-8 мбар I/s H
Панелі контролю тиску
Серія ВУП-1У
- Панелі контролю тиску (односторонній тип)
- Одноступінчастий регулятор серії VSR-100UBS/UCS
- Вентиляційні мембрани серії VDV33UBS Клапани
- Вхідні технологічні мембранні клапани серії VDV33UBS
- Орбітальні зварні торцеві ущільнювальні з’єднання VFS-
- Модульна конструкція
- Підходить для вхідного тиску до 3500 psig (250 бар)
- Легка установка в безпечну шафу для газових балонів
- 100% перевірка на витік гелію
- Вхідний тиск P1: макс. 3500 psig (250 бар)
- Тиск на виході P2: Vac до 10/30/60/100/150 psig (0,7/2/4/7/10 бар)
- Оздоблення поверхні: 10uin. Ra (25uin. Ra необов’язково)
- Вхідні та вихідні отвори: фітинг 1/4" VFS
- Діапазон температур: від -40F до +160℉ (від -40 градусів до +71 градусів )
- Пропускна здатність: Cv=0.09 (опція Cv=0.15)
Створено для досконалості та безпеки
Кожна система доставки газу VIGOR розроблена відповідно до найвищих стандартів:
- Дизайн і відповідність:Продукти відповідають вимогам SEMI S2 і міжнародним нормам протипожежної безпеки, а такі функції безпеки, як аварійне від-вимкнення та сигналізація тиску, інтегровані в повсюди.
- Чистота виробництва:Складання та орбітальне зварювання виконуються в чистих приміщеннях класу 100 із використанням високо-матеріалів цілісності, таких як SS 316L і Hastelloy® C276, для забезпечення чистоти та довговічності системи.
- Перевірена цілісність:Кожен блок проходить суворе 100% випробування на витік гелієм, що гарантує-герметичність.
