Insight промисловості|Наскільки важливою є чистота газу у виробництві напівпровідників?

У виробництві напівпровідників переважає-встановлений консенсус: верхня межа продуктивності мікросхеми визначається дизайном, тоді як нижня межа продуктивності залежить від чистоти матеріалу.

Зображення взято з Інтернету.

Від очищення пластин і осадження тонких -плівок до травлення та легування, процес виробництва однієї 12-дюймової пластини включає понад 30 типів технологічних газів, зокрема силан, аміак, трифторид азоту, гексафторид вольфраму, хлористий водень тощо. Кожен газ повинен надходити в реакційну камеру з надвисокою чистотою.

Сліди домішок на рівні ppb (волога, кисень, тверді частки), що потрапляють у газові труби, можуть викликати дефекти тонкої -плівки та забруднення поверхні, безпосередньо знижуючи продуктивність. Беручи за приклад 3-нм процес, кожен окремий чіп коштує сотні доларів США; лише 1% коливання прибутковості достатньо, щоб знищити прибутки, які оцінюються в десятки мільйонів.

У напівпровідниковій промисловості «висока чистота» не означає «готовність-до процесу». Справжня проблема полягає у збереженні чистоти - підтримці забруднення-вільного газу на всьому шляху доставки від джерела газу до місця використання (POU).

Для досягнення цієї мети разом працюють три основні запобіжні заходи:

(1) Вибір матеріалу: Корпуси труб і клапанів виготовлені з нержавіючої сталі 316L VIM+VAR подвійного переплаву, щоб мінімізувати елементарне виділення газів з основних матеріалів.

(2) Оздоблення поверхні: Шорсткість внутрішньої поверхні Ra Менше або дорівнює 0,25 мкм (10 мкдюймів) із обробкою електрополіруванням (EP) для зменшення адгезії часток і адсорбції вологи.

(3) Герметичне ущільнення: Швидкість витоку гелію Менше або дорівнює 1×10⁻⁹ атм·куб.см/с, щоб повністю заблокувати проникнення зовнішнього забруднення.

Лінійка продуктів VIGOR VUPS Ultra-High Purity охоплює повний ланцюг доставки газу відповідно до стандартів SEMI, включаючи фітинги з металевими лицьовими-ущільненнями VCR, мембранні клапани високої-чистоти та дво-регулятори тиску.

Усі продукти збираються, перевіряються та упаковуються-подвійним вакуумним пакетом-у чистих приміщеннях класу 100 перед відправленням. Те, що клієнти отримують, — це не просто окремі клапани, а повна система гарантії над-високої чистоти «підключи та-працюй».

Продукти VIGOR надійно функціонують у спеціальних системах подачі газу та трубопроводах подачі газу CVD/PVD на численних фабриках по виготовленню пластин, сумісних з критичними технологічними газами, такими як силан, трифторид азоту та трихлорид бору.

Виробництво напівпровідників — це нескінченна гонка із забруднювачами -, і місія VIGOUR — забезпечити якомога чистішу стартову лінію для цієї гонки.