VIGOR Product Express|Реле потоку серії VEFS2

Завдяки штучному інтелекту, високо-продуктивним обчисленням (HPC), автомобільній електроніці й додаткам Інтернету речей напівпровідникова промисловість зазнає швидких змін. Однак це значне зростання також породило нові операційні виклики. Оскільки масштаби виробництва збільшуються з безпрецедентною швидкістю, спеціальні гази високого ризику, такі як силан і фосфін, широко використовуються на напівпровідникових фабриках. Будь-який неконтрольований витік газу, спричинений розривом трубопроводу, ослабленим з’єднанням, пошкодженням ущільнення або неправильним встановленням, може швидко перерости в серйозний інцидент із безпекою, загрожуючи безпеці персоналу, пошкодивши критичне виробниче обладнання та спричинивши дорогі незаплановані простої. На цьому фоні перемикач надлишкового потоку (EFS) від VIGOUR з його чисто механічною конструкцією приводу та винятковою сумісністю з ультра-високою-чистотою (UHP) став незамінним запобіжним засобом безпеки для спеціальних систем газопостачання, включаючи газові камери та VMB, на лініях виробництва напівпровідників у всьому світі.

Основним принципом розробки VIGOR EFS є виявлення аномальних умов потоку та надійне реагування. Коли вихід із ладу трубопроводу призводить до раптового та надмірного стрибка потоку, який перевищує попередньо-встановлену критичну точку спрацьовування, пристрій негайно запускає сигнал відповіді. Цей сигнал передається через розмикання або замикання електричних контактів у вбудованому-герконовому перемикачі, який потім синхронізується та надсилається до системи SCADA або системи моніторингу газу (GMS). Надаючи-сповіщення в реальному часі та уможливлюючи швидкі автоматизовані реакції, він підтримує проактивне керування безпекою, ефективно зменшує потенційні небезпеки та підвищує загальну надійність мережі доставки газу.

У процесах виробництва напівпровідників кожен компонент газової системи може стати потенційним джерелом забруднення. Навіть дрібні частинки, металеві домішки або поверхнева адсорбція можуть погіршити якість пластин і знизити продуктивність. Тому VIGOR суворо дотримується суворих стандартів напівпровідникової промисловості для забезпечення чистоти матеріалу, чистоти поверхні та стабільності роботи.

Що стосується стандартів матеріалів, VIGOR використовує виключно нержавіючу сталь 316L, виготовлену за технологією подвійного-плавлення VIM/VAR. Цей прогресивний металургійний процес значно зменшує кількість металевих включень і залишкових домішок, забезпечуючи відмінну стійкість до корозії та мінімізуючи ризик забруднення газом. Для обробки поверхні всі вироби проходять вдосконалену електрополірування (EP), зберігаючи шорсткість внутрішньої поверхні 5–10 μin. Така гладка, чиста внутрішня частина запобігає адсорбції молекул газу на внутрішніх стінках і усуває осадження частинок, підтримуючи стабільну та-без забруднення подачу газу.

Крім того, VIGOR EFS пропонує широкий вибір критичних точок спрацьовування та гнучкі параметри конфігурації для різноманітних сценаріїв застосування. Завдяки простому підбору параметрів користувачі можуть легко визначити точну модель на основі конкретних типів газу, умов робочого тиску та максимально допустимих витрат. Цей високий ступінь налаштувань забезпечує точний і надійний захист від пере-потоку для різноманітних додатків над-високо{4}}чистого газу в сучасному виробництві напівпровідників.

  Реле потоку для застосування з високим потоком

 Доступні з горизонтальною або вертикальною основною лінією

 Мінімальний перепад тиску через пристрій

 Нержавіюча сталь SS 316L